產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
詳情介紹：
氟橡膠性能：
耐高溫性：連續(xù)使用溫度范圍為-20℃至230℃，適應(yīng)化學(xué)氣相沉積（CVD）、蝕刻等高溫工藝
化學(xué)穩(wěn)定性：耐受強(qiáng)酸、強(qiáng)堿及有機(jī)溶劑，有效防止工藝氣體泄漏
潔凈度：低釋氣性（總質(zhì)量損失＜1%）和極低離子析出量，避免晶圓污染
應(yīng)用場景：常用于蝕刻設(shè)備、真空腔體等，成本較FFKM低，性價比高
耐高溫性：連續(xù)使用溫度范圍為-20℃至230℃，適應(yīng)化學(xué)氣相沉積（CVD）、蝕刻等高溫工藝
化學(xué)穩(wěn)定性：耐受強(qiáng)酸、強(qiáng)堿及有機(jī)溶劑，有效防止工藝氣體泄漏
潔凈度：低釋氣性（總質(zhì)量損失＜1%）和極低離子析出量，避免晶圓污染
應(yīng)用場景：常用于蝕刻設(shè)備、真空腔體等，成本較FFKM低，性價比高
在線詢價
